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聊聊平面度误差测量的常用方法

发布于:2020年3月19日下午2:40

平面度误差丈量的常用办法有如下几种:平晶干预法:用光学平晶的工作面表现理想平面,直接以干预条纹的弯曲水平肯定被测外表的平面度误差值。主要用于丈量小平面,如量规的工作面和千分尺测头丈量面的平面度误差。平面是由直线组成的,因而直线度丈量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于丈量平面度误差。

 

丈量平面度时,先测出若干截面的直线度,再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)应用图解法或计算法停止数据处置即可得出平面度误差。也有应用光波干预法战争板涂色法丈量平面误差的。平面度丈量光波干预法常应用平晶停止。

条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍,表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm.图中c的干预条纹呈圆形,同样标明被检验外表是球形外表。将条纹数目乘以所用光束波长的一半,即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm.图中d的干预条纹成椭圆形排列,阐明被检验外表是桶形的。

能够把干预图案作为被检验外表的等高线,因而能够画出该外表的外形。这种办法仅适合丈量高光亮外表,丈量面积也较小,但丈量准确度很高。平面是由直线组成的,因而直线度丈量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于丈量平面度误差。丈量平面度时,先测出若干截面的直线度,再把各测点的量值按平面度公差带定义,应用图解法或计算法停止数据处置即可得出平面度误差。